中國DUV曝光機的生產品質與ASML產品的差異點在哪？

Question

## 中國DUV曝光機的品質差距，根源在於長期良率積累與供應鏈深度整合

Accepted Answer

中國開始生產自主研發的深紫外光（DUV）曝光機，標誌著其在晶片製造設備國產化進程上的重要一步。然而，就目前資訊來看，這些國產設備在品質與性能上，與長期由荷蘭 ASML 主導的產品仍存在顯著差異，這並非單純的零件組裝問題，而是涉及設備製造中至關重要的長期良率積累與供應鏈的深度整合。