質量流量控制器預計何時量產並挹注營收？

Question

## 質量流量控制器預計於 2025 年底量產，將成為微程式未來營收的重要新動能

Accepted Answer

微程式自行研發的質量流量控制器 (MFC)，預計於 2025 年底正式進入量產階段，此產品採用 MEMS 微機電感測技術，具備高速反應與高靈敏度，能精準偵測微小氣體流量變化，並已整合至光罩儲存系統 (Stoker) 中，同步監控溫濕度條件，以強化半導體製程品質控管。該 MFC 產品可支援 5L 至 200L 等多種流量規格，其量產時程的確立，預示著將為微程式在半導體領域的營收開拓新的成長曲線。

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